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扩散过程中,在硅片的周边表面也形成了扩散层。周边扩散层使电池的上下电极形 成短路环,必须将它除去。
周边上存在任何微小的局部短路都会使电池并联电阻下降,以至成为废品。目前,工业化生产用等离子干法腐
蚀,在辉光放电条件下通过氟和氧交替对硅作用,去除含有扩散层的周边。 扩散后清洗的目的是去除扩散过程
中形成的磷硅玻璃。
沉积减反射层: 沉积减反射层的目的在于减少表面反射,增加折射率。广泛使用PECVD淀积SiN ,由于PE
CVD淀积SiN时,不光是生长SiN作为减反射膜,同时生成了大量的原子氢,这些氢原子能对多晶硅片具有表面
钝化和体钝化的双重作用,可用于大批量生产。
丝网印刷上下电极: 电极的制备是太阳电池制备过程中一个至关重要的步骤,它不仅决定了发射区的结构
,而且也决定了电池的串联电阻和电池表面被金属覆盖的面积。最早采用真空蒸镀或化学电镀技术,而现在普
遍采用丝网印刷法,即通过特殊的印刷机和模版将银浆铝浆(银铝浆)印刷在太阳电池的正背面,以形成正负
电极引线。
共烧形成金属接触: 晶体硅太阳电池要通过三次印刷金属浆料,传统工艺要用二次烧结才能形成良好的带
有金属电极欧姆接触,共烧工艺只需一次烧结,同时形成上下电极的欧姆接触。在太阳电池丝网印刷电极制作
中,通常采用链式烧结炉进行快速烧结。
电池片测试: 完成的电池片经过测试分档进行归类。